建筑面積：1680㎡

　　潔凈度級別：萬級、十萬級

　　設(shè)計(jì)參數(shù)：溫度：22 ±2℃;相對濕度：50~60%

　　項(xiàng)目概述：項(xiàng)目位于浙江平湖高科經(jīng)濟(jì)園區(qū)， 建設(shè)內(nèi)容包括：生產(chǎn)潔凈廠房裝修及配套水電氣系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、安全和消防系統(tǒng)等設(shè)施;辦公室裝修及辦公設(shè)施。本例主要介紹潔凈廠房裝修及凈化系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案。

　　此項(xiàng)目潔凈室MAU+FFU+(RCU+FCU)系統(tǒng)，MAU主要控制室內(nèi)的濕度和保證室內(nèi)的正壓，F(xiàn)FU通過空氣循環(huán)過濾保證潔凈度，而RCU+FCU是來除去室內(nèi)的顯熱從而保證室內(nèi)的溫度。

　　(1)MAU(Make—uDAirUnit)組合式外氣空調(diào)箱是由風(fēng)機(jī)、冷盤管、熱盤管(或電加熱)、空氣過濾器(初級、中級、高級三級過濾)、加濕器組成，通過初中效過濾、預(yù)熱、降焓、減濕、再熱、高效過濾后送入回風(fēng)層。

　　(2)FFU(FanFiherUnit)是模數(shù)化的小型風(fēng)機(jī)過濾單元，安裝在頂棚框架上，空氣由FFU的風(fēng)機(jī)加壓后經(jīng)HEPA或ULPA過濾送入室內(nèi)，如此循環(huán)，其換氣次數(shù)直接決定室內(nèi)潔凈度的不同。FFU的技術(shù)性能取決于風(fēng)機(jī)和HEPA或ULPA的質(zhì)量。FFU的風(fēng)機(jī)均采用外轉(zhuǎn)子電機(jī)以減小高度，一般配有電子式過載保護(hù)開關(guān)、故障指示燈，故障輸出節(jié)點(diǎn)，有傳統(tǒng)的低、中、高三檔交流控制，目前直流變頻控制亦越來越應(yīng)用在潔凈等級比較高的系統(tǒng)。早在上個世紀(jì)6O年代，美國新墨西哥州Sandia國家實(shí)驗(yàn)室的科學(xué)家們利用HEPA過濾的方法研制成功了層流技術(shù)，其后商用FFU陸續(xù)在美國一些手術(shù)室及工業(yè)廠房得到廣泛的應(yīng)用。

　　大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65dBA以下，這符合工業(yè)廠房的標(biāo)準(zhǔn)。其次隨著自動控制的發(fā)展，監(jiān)測和調(diào)節(jié)各個角落的靜壓也變得容易起來。最后電機(jī)的壽命隨著技術(shù)的提高也得到了質(zhì)的飛躍。

　　現(xiàn)在，隨著半導(dǎo)體電子技術(shù)的發(fā)展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級，而FFU系統(tǒng)本身也有著其獨(dú)特的優(yōu)勢，主要包括以下幾點(diǎn)：

　?、凫`活性。因?yàn)镕FU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

　　②可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

　　③負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于沽靜廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。

　?、芸s短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

　　⑤減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。

　?、薰?jié)約空間。相比較RCU+HEPA系統(tǒng)，MAU+FFU+DC系統(tǒng)占用送風(fēng)靜壓箱內(nèi)較少層高，且基本不占用潔凈室內(nèi)空間。而RCU不論是吊掛在天板上方還是設(shè)置在潔凈室，均占用不少空間。

　　(3)薄型空氣處理機(jī)+FCU

　　循環(huán)空調(diào)箱，全空氣系統(tǒng)，用于除去室內(nèi)空氣的顯熱。

　　在此方案中相比較有以下幾條有點(diǎn)：

　　①靈活性大，滿布率高。對于Ic工廠而言潔凈空調(diào)系統(tǒng)的靈活性是非常重要的，其隨著市場產(chǎn)品更新?lián)Q代快而帶來的變更會很多的。若果車間內(nèi)潔凈度隨工藝變化而需做局部區(qū)域性調(diào)整時(shí)，可通過改變FFU風(fēng)量或置換盲板來改變局部區(qū)域的潔凈度。檔密集不只是，漫步率可達(dá)85.5%。

　?、贔FU上部頂棚為負(fù)壓，可起負(fù)壓密封的作用。頂棚內(nèi)呈負(fù)壓，潔凈室內(nèi)空氣壓力大于頂棚內(nèi)的空間。如果FFU與支架密封處有縫隙，則由于頂棚內(nèi)為負(fù)壓使得未經(jīng)高效過濾器的空氣不能進(jìn)入室內(nèi)，對保證潔凈室的潔凈度有力。

　?、茚槍Υ朔桨附ㄖY(jié)構(gòu)，二樓層高限制，技術(shù)夾層空間有限，空調(diào)設(shè)備位置安裝靈活，可根據(jù)實(shí)際情況規(guī)避梁柱 貼頂?shù)跹b。